(1)在最低倍率下，移动样品台，找到所要分析的试样，再对该试样进行放大、调焦。最容易和简单的聚焦方式就是在样品上找一个有明显边界的特征点，综合使用对比度、亮度、放大倍率和聚焦来尽最大可能地调清楚图像，再在看清试样的基础上寻找或选择感兴趣的分析部位做进一步细调。

(2) 通过转动样品台或旋转光栅，摆好图像的角度，选好合适的放大倍数。此外，要拍摄一幅好的照片，既要有能说明问题的学术价值，同时也要尽量考虑整幅照片的美观，希望能尽量細既有科学的应用价值又能兼顾一定的美观性。

(3) 在原选定放大倍数的基础上再放大若干倍，进行更精准的调焦和消像散。这时可选择选区（Reduced Area)来聚焦，在屏幕中会出现一个小的区域。该小区 域里的回扫速率更快，有助于对入射束欠焦或过焦的判断。入射束的欠焦或过焦都会使图像模糊只有把焦距调到正焦，并把像散消除到最小时，图像中的细节才能锐利、清晰。

(4)对感兴趣的分析部位进行衬度和亮度的调节，使整个视场的衬度既能做到黑白层次分明，又能保持适当反差，使表面的层次和细节丰富。若画面偏亮，浅色部位的细节会减少；反之，若画面偏暗，则深色部位的细节会减少。由于这种画面太亮或太暗而引起的过饱和都会减少层次，造成细节丢失。

以上操作中主要是调焦，在调/聚焦的同时，往往需要与X、Y的消像散交替进行。

在观察一万倍以上时，要进行消象散，先粗聚焦，然后再在焦点附近做欠焦，正焦，稍过焦操作。在欠焦和过焦时像被拉长，而且欠焦和过焦时拉长方向是垂直的，在正焦时像不被拉长但不清晰。此时正焦情况下调节消像散器的方位和大小，直至图像最清晰为止。然后从做欠焦，正焦，过焦操作。如果图像没有被拉长说明象散已经被消除。此时可进行聚焦，由于扫描电镜在改变放大倍率时候焦点不变，因此，聚焦时候通常把放大倍数放在拍摄或者是观察时候使用的倍数的2-3倍进行，这样更容易判断是否正焦。调节聚焦旋钮至图像最清晰就是正焦。移动样品后，样品高度将发生变化，此时必须重新聚焦。

如果在低倍率下就出现像散或大幅度调节消像散器也未能明显地改变像散流的幅度或方向，这就要考虑是否是电子束合轴不良、光栏的污染严重、试样是否带有磁性或明显荷电，或电子光学通道中是否存在外来的杂质等？若确实存有某个问题，应做有针对性的处理，排除之后才能进行正常观察和分析。